액침노광1 Photo공정과 빛의 회절 ASML의 EUV 독점 최근 삼성전자 이재용 회장이 EUV(Extreme Ultraviolet) 장비를 확보하기 위해 네덜란드에 직접 방문하여 ASML을 찾았다. 슈퍼 을이라는 별명으로 불리는 ASML은 EUV 장비에 대한 독보적인 위치에 있다. 그리고 ASML이 생산하는 EUV 장비는 매우 복잡하고 첨단 기술의 집약체로 매년 생산할 수 있는 장비 대수가 한정적이다. 한정적인 공급에 반도체의 미세화가 진행되면서 장비의 수요는 증가하였고 이를 차지하기 위한 각 반도체 회사들의 치열한 싸움이 계속되고 있다. 이렇게 첨단 반도체 공정에서는 EUV가 차지하는 중요도가 높아지고 있다는 것을 알 수 있다. 그렇다면 EUV는 왜 중요한 것일까? EUV에 대해서 말하기 전에 우선 반도체 8대 공정의 하나인 Photo .. 2023. 1. 28. 이전 1 다음 반응형
